有限会社 ライトム
3元RFスパッタ装置でのCr(クロム)の成膜

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会社概要
会社名 有限会社ライトム
設立年月日 平成16年7月23日
資本金 \4,000,000
取締役 後藤 俊介
本社 〒020-0866 岩手県盛岡市本宮2−29−7
TEL & FAX 019-681-3878
E-mail light-gotou@r8.dion.ne.jp
業務内容  ■研究開発支援(半導体・電子デバイス及び各種MEMS)
・フォトマスク設計/製作:EB描画、
・薄膜形成:熱酸化膜、スパッタ膜(Al,Ti,Cr,Au,Pt,ITO,SiO2,ZnO,AZO等)
        各種アニール(真空,02,N2,Ar及びその混合雰囲気中)
・レジスト塗付:スピンコーター
・パターン形成:g線両面マスクアライナー
・wetエッチング:Al,Ti,Cr,Au,Pt,Cu等の金属薄膜、SiO2,ZnO等の酸化物薄膜
          及び、HF-HNO3系によるSiの等方性エッチング、並びにKOH
          TMAH,ヒドラジンによるSi(100),(110)の異方性エッチング
・dryエッチング:ICP-RIEによるSiO2,ZnO及び、ボッシュ方式によるSiのdeep
          エッチ、イオンミリングによる各種薄膜のエッチング
・ダイシング:Si,ZnO,Al2O3,MgO,SiO2及び各種膜付き基板
■シリコン単結晶及び、各種ウェハー加工販売
・CZ,MCZ,FZインゴット、2"〜12"及び、不定形ウェハー
・NTD,酸素析出処理、DZIG及び、エピタキシャルウェハー
■シリコンウェハー結晶欠陥評価
・OSF,酸素析出欠陥(BMD),COP,スリップライン等
・電気的特性評価用ダイオード作製
■基板、プロセス及び、デバイス評価
・FTIR,AFM,XRD,ESCA,AES,EDX,FIB,エリプソメーター,PL,ホール効果測定装置
I-V,C-V,抵抗率測定(四探針、非接触),段差計等

お問い合わせ先 〒020-0866  岩手県盛岡市本宮2−29−7
TEL & FAX 019-681-3878
E-mail light-gotou@r8.dion.ne.jp
URL http://www.geocities.jp/lightg482000/index.html
阿部農園のリンゴの花(撮影 三上恵子)


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